پاورپوینت کامل و جامع با عنوان نانولیتوگرافی در 28 اسلاید

پاورپوینت کامل و جامع با عنوان نانولیتوگرافی در 28 اسلاید

قبل از خرید حتما توضیحات را کامل مطالعه نمایید

صفحه اصلی
راهنما
محصولات
درباره ما
قوانین
نقشه سایت
تماس با ما

پاورپوینت کامل و جامع با عنوان نانولیتوگرافی در 28 اسلاید

29500 قیمت

پاورپوینت کامل و جامع با عنوان نانولیتوگرافی در 28 اسلاید

پاورپوینت کامل و جامع با عنوان نانولیتوگرافی در 28 اسلاید

 

 

 

 

 

 

 

 

لیتوگرافی نوری یا طرح نگاری نوری (به انگلیسی: Photolithography)

در این فرایند پس از نشاندن یک لایه پلیمری حساس به نور (پلیمر واسط یا پلیمر مقاوم) روی سطح زیرلایه، پرتو همگن از یک ماسک عبور کرده و طرحی روی پلیمر ایجاد می‌کند. در فرایند طرح نگاری نوری پس از ایجاد طرح روی پلیمر واسط، نواحی نور دیده، با مقاومت در برابر خوردگی، واسطه انتقال طرح به لایه زیرین می‌شوند؛ این فرایند بسیار شبیه به مهرسازی با نور فرابنفش است؛ و در صنعت ساخت ادوات الکترونیک نقش مهمی بازی می‌کند.

از زمان اختراع طرح نگاری نوری توسط نایپسه تا کنون منابع انرژی متفاوتی برای این کار استفاده شده، که منجر به ایجاد خانواده‌های مختلف طرح نگاری شده است: فوتون فرابنفش، اشعه ایکس، الکترون. علت اصلی استفاده از طول موج‌های کوتاه، رسیدن به ظرافت بیشتر در ساخت ادوات الکترونیک است.

در حال حاضر فرایند اصلی ساخت ادوات الکترونیک بر پایهٔ طرح نگاری نوری فرا بنفش است، که با طیف طول موج‌های بین ۳۰۰ تا ۴۵۰ نانومتر سر و کار دارد.

ماسک‌ها در اصل صفحات کوارتزی هستند که بر رویشان با کُروم الگویی همانند شکل۱ داده شده است. بدیهی است که ساخت یک قطعه با دقت بسیار بالای هندسی و دقیقاً مشابه ماسک امکان پذیر نیست. برای ساخت ماسک‌ها از باریکهٔ الکترونی با دقتی حدود کسری از میکرومتر استفاده می‌شود. این تکنیک لیتروگرافی الکترونی است که با جزئیات در اینجا مورد مطالعه قرار نمی‌گیرد. اگر دقت زیر میکرومتری در دسترس نباشد از روش‌های دیگری نظیر ژل، پرینت با کیفیت بالا روی ماده شفاف و... استفاده می‌شود.

لاک نوری (به انگلیسی: photoresist) یک ماده حساس به پرتواست که در طرح‌نگاری نوری، به خصوص در فناوری میکرو و میکروالکترونیک برای تولید ساختارهای میکرو یا کوچکتر، همچنین تولید مدارات چاپی، به کار می‌رود.با اینکه به صورت سنتی از این لاک با عنوان لاک حساس به نور یاد می‌شود، اما بعضی از انواع این لاک‌ها به تابش الکترون و یاپرتوهای غیر قابل دیدن حساسند. مهمترین مواد تشکیل دهنده این لاک‌ها بسپارهایی مانند پلی متیل متاکریلات ،نوولاک ، اپوکسی (مثلاً در SU-8)، مواد حلال مانند سیکلوپنتانون، گاما بوتیرولاکتون و همچنین یک ماده حساس به نورند. در کنار لاک‌های نوری مایع، مواد سفت و خشک حساس به نوری مانند فیلم نوری هم موجود است.

 

فهرست مطالب:

مقدمه

انواع لیتوگرافی

جدول مقایسه تکنیک های لیتوگرافی

لیتوگرافی نوری

مراحل اصلی لیتوگرافی نوری

انواع رزیست

انواع نوردهی در لیتوگرافی نوری

لیتو گرافی نوری پله ای

لیتوگرافی باریکه الکترونی

انواع روش های باریکه الکترونی

کاربردها

محدودیت ها

لیتوگرافی نرم

لیتوگرافی Nanoimprint

معایب

لیتوگرافی UV-nanoimprint

لیتوگرافی پروب روبشی

نانولیتوگرافی بر مبنای AFM

مزیت ها

عیب ها

نتیجه گیری


خرید

پرداخت آنلاین
mouse corsair

دوره استراتژی قدرتمند PTC

299,000 تومان

مشاهده دوره